洁净室/无尘室基础知识11

洁净室（亦称无尘室）：空气悬浮粒子浓度受控的房间。它的建造和使用应减少室内诱入、产生滞留粒子。室内其它有关参数如温度、湿度、压力等按要求进行控制。

现行标准：GB50073-2013 洁净厂房设计规范。

各种条件下微尘状况

尘埃粒子直径的示意图：

灰尘又是如何产生的呢？

运动时产生的尘埃粒子数量

灰尘是如何去除的呢？

洁净室的空气净化：

手持简易型激光粒子计数器

测量空气中微粒的数量：

限于体量和重量，手持式激光粒子计数器采样流量一般为每分钟0.1立方英尺（0.1cfm），即每分钟2.83升（2.83L/m），其最小粒径通道一般为0.3μm。通常均可采用电池或交流电工作。

这类产品粒径通道又可分为双通道型，如美国Met One公司生产的HHPC-2型，有0.3和0.5μm及0.5和5μm两种标准配置。

高效过滤器

高效过滤器检漏：

卸下HEPA的散流板，对整个滤器面、滤器与边框之间、边框与边框之间以及边框与静压箱之间的密封进行扫描。扫描时采样头距滤器面约1英寸（约2.54cm），扫描速度不超过5cm/s。扫描按直线来回往复地进行，线条间应重叠。检测过程中，若有报警声 （即%LEAKAGE（泄漏率）超过0.01%），表明有泄漏。泄漏处经用硅胶堵漏或紧固以后再进行扫描巡检。检查一个过滤器约为5min 左右，在测试的过程中，应经常确认上游气溶胶的浓度，注意在检测过程中应带防护面罩和防护眼罩

风量罩

测量送风风速：

风量罩主要由三个部分构成：风量罩体、基座、PDA构成。

风量罩体主要用于采集风量，将风汇集至基础上的风速均匀器上。在风速均匀器上装有热式传感器，热式传感器将风速的变化，再根据基底的尺寸将风量计算出来.风量罩的显示采用PDA，大屏幕液晶屏显示直观,直接可以得到风速和风量的数据。操作简单，可以设置记录时间间隔进行连续的参数记录，以便对数据进行分析。测量和记录的数据被记录在存储卡上，不会丢失，可以通过计算机的串口将数据传递到PC机上以及做进一步的应用。

风罩的测量技术要求：

静电控制

ESD控制= Man(人)+ Machine (机) + Material (料)+ Method(法)+ Environment(环)。

风淋室（Airshower）

风淋室设于无尘室入口处，具有以下功能：

人员管制；AIR LOCK 气锁功能，防止交叉污染；

风速20-25m/s吹落尘埃带走功能，用以吹除人体衣服上及设备、物料、工具的尘埃